Физико-технологический институт Российской академии наук (ФТИАН) является структурным подразделением Отделения нанотехнологий и информационных технологий РАН. Он был открыт на базе Отдела микроэлектроники Института общей физики АН СССР в 1988 году. Учреждение было создано для изучения фундаментальных физико-технологических проблем субмикронных структур сверхскоростных и сверхбольших интегральных схем.
ФТИАН имеет 5 научных лабораторий:
- физики поверхности и микроэлектронных структур;
- субмикронной литографии;
- физических основ квантовых вычислений;
- микроструктурирования и субмикронных приборов;
- математического моделирования физико-технологических процессов микроэлектроники.
В настоящее время Институт специализируется на ионно-лучевых технологиях и плазмохимическом травлении. Сотрудники учреждения ведут исследования не только фундаментального, но и прикладного характера. Институт имеет филиал в Ярославле. В рамках программы «Интеграция» ФТИАН наладил сотрудничество с Московским институтом электронной техники, Московским инженерно-физическим институтом, Московским государственным университетом им. М. В. Ломоносова.
Информация скопирована с Yell.ru - https://www.yell.ru/yaroslavl/com/fiziko-tehnologicheskiy-institut-ran_10519507/